前处理:包括除油、微蚀等步骤,去除基板表面的有机物和氧化层,粗化表面以提高镀层附着力。对于罗杰斯等特殊基材,可能还需要进行等离子体处理。
种子层沉积:采用化学镀或物相沉积(PVD)方法,在基板表面形成一层薄的导电种子层,通常为铜或镍,厚度约 0.1-0.5μm。
工艺适配相关故障
线路桥连 / 短路:超细线路(≤10μm 线宽)间出现镀层粘连,多因光刻胶显影不彻底、电镀时金属离子过度沉积,或镀液整平性差。
盲孔 / 埋孔填充不良:孔内出现空洞、凹陷,影响层间导通和散热。成因是镀液流动性不足、电流密度未针对深宽比优化,或添加剂中整平剂含量不足。
基材损伤:特殊基材(如 PTFE)出现翘曲、开裂,多因电镀温度过高(超过基材耐热极限),或前处理化学药剂腐蚀基材表面。
种子层沉积:构建导电基底
采用物相沉积(PVD)或化学镀,在绝缘基材表面沉积超薄导电层(铜或镍)。
种子层厚度控制在 0.1-0.5μm,要求覆盖均匀、无针孔,为后续图形电镀提供稳定导电通道。
沉积后需做简易附着力检测,避免种子层脱落影响后续工艺。
图形转移:定义线路与镀层区域
涂布高精度光刻胶 / 干膜,通过曝光、显影工艺,将线路图形转移到基材表面。
高频高速板对图形精度要求,需控制线宽 / 线距偏差≤±1μm,避免开窗偏移导致镀层错位。
显影后进行检查修正,去除残留胶渣,确保线路区域完全裸露、非线路区域被保护。

